摘要：通过使用多变量建模，来自在线传感器的 FDC 数据可用于更好地控制 PCM 变化。然而，确定哪个 FDC 传感器对 PCM 变异的影响最大一直是个难题，因为单个工艺设备有数百个传感器，而整个生产线的传感器总数可能达到数万甚至更多。在本文中，我们利用集中式 FDC 数据管理系统，在 65 纳米大规模生产线上演示了利用多元建模控制 PCM 变异的方法。
关键词预测学习、FDC、产量建模、虚拟计量学
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