摘要：基于设备传感器数据的计量预测，即虚拟气象学，通常被认为是提高计量仪器使用效率的一种方法。此外，具有扎实物理知识的稳健模型可用作监测设备健康状况和早期捕捉异常的基准。这种能力有助于防止工艺设备发生灾难性故障，这种故障可能导致长时间停机，甚至造成巨大的产量损失。在本文中，我们演示了在 65 纳米量产线的双大马士革铜工艺中在线部署碳化硅（SiC）覆盖层厚度的稳健预测模型。
关键词FDC、产量建模、虚拟计量学
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