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SPIE 2009 - 简化以求生存,规范性布局确保向 32 纳米及更先进工艺扩展的盈利能力
SPIE 2009 - 使用常规设计织物简化 OPC 并降低掩模成本
ISSM 2006 - 用于热点分析的平版印刷模拟器的快速准确校准方法
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