EDTM 2022 - 用于检测和监控的新型电子束技术 发布日期 2022 年 4 月 14 日 由 PDF 解决方案 摘要：在本文中，我们报告了一种先进的电子束缺陷检测工具（eProbe®250）和设计检测™（DFI）系统。 DFI 系统。该工具具有极高的吞吐量，可对最先进技术节点的纳米级缺陷进行在线检测。我们还介绍了用于系统性埋藏缺陷检测和工艺窗口表征的 eProbe 应用。 立即下载 关键词：电子束检测、FinFET、良率
