IEEE S3S 2019 - FDSOI 技术的表征挑战与解决方案 发布日期 2019 年 10 月 20 日 由 PDF 解决方案 摘要 - FDSOI 技术作为一种替代器件扩展途径，在保持平面集成简便性的同时，还具有可调、高静电晶体管的优点。新的器件类型和集成元件给器件和工艺表征以及技术整个生命周期的监控带来了挑战。本文介绍了在 FDSOI 技术量产过程中对快速循环时间电气特性分析的成功应用。 立即下载 关键词- FDSOI、技术开发、良率爬坡
